3月30日,半导体板块内部表现分化,设备股集体走强,截至收盘,中证半导体材料设备主题指数上涨2.6%,中证芯片产业指数下跌0.3%,上证科创板芯片指数下跌0.5%,上证科创板芯片设计主题指数下跌1.0%,半导体设备ETF易方达(159558,联接基金A/C:021893/021894)全天获超5000万份净申购。