国产光刻机爆发元年！科创半导体ETF（588170）涨超8%，上市以来规模增长223%

截至2025年9月24日 14:12，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨8.21%，成分股神工股份上涨20.01%，京仪装备上涨13.78%，华海清科上涨12.92%，盛美上海，安集科技等个股跟涨。科创半导体ETF(588170)上涨8.11%， 冲击3连涨。

规模方面，科创半导体ETF最新规模达11.13亿元，创成立以来新高，较上市初期规模4.98亿元，增长率达223.49%

消息面上， 在全球半导体产业格局深刻变革的背景下，我国光刻机国产化进程迎来重大突破。9月23日，第二十五届中国国际工业博览会在上海国家会展中心隆重开幕。在这场工业盛会中，上海微 电子(SMEE)展台上首次公开亮相了极紫外(EUV)光刻机参数图。

华鑫证券表示， 在国家政策支持下，国内企业加速研发突破光刻机制造技术，目前国产光刻机在 90nm 及以下工艺节点方面取得了重要进展。例如，上海 微电子自主研发的 600系列光刻机已实现 90nm 工艺的量产，并正在进行 28nm 浸没式光刻机的研发工作。近期，宇量昇与中芯国际的合作测试是国产光刻机突破的重要信号。随着光刻机技术的突破将带动上游材料、精密机械等配套产业升级，加速光刻胶、光学部件等 “卡脖子” 材料的国产化进程，形成 “龙头带动、多点突破”的产业升级格局。