| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 71,713.00 | 33,597,540.50 | 0.66 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 34,075.00 | 30,141,382.00 | 0.59 |
| 3 | 300604 | 长川科技 | 43,400.00 | 14,817,628.00 | 0.29 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 35,709.00 | 11,504,725.62 | 0.23 |
| 5 | 688361 | 中科飞测 | 23,852.00 | 10,256,360.00 | 0.20 |
| 6 | 300666 | 江丰电子 | 20,900.00 | 7,703,740.00 | 0.15 |
| 7 | 688200 | 华峰测控 | 13,699.00 | 7,193,344.90 | 0.14 |
| 8 | 688037 | 芯源微 | 15,701.00 | 6,893,524.05 | 0.14 |
| 9 | 688126 | 沪硅产业 | 161,021.00 | 6,423,127.69 | 0.13 |
| 10 | 300346 | 南大光电 | 67,100.00 | 6,216,815.00 | 0.12 |
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