| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688072 | 拓荆科技 | 30,479.00 | 11,277,230.00 | 9.46 |
| 2 | 688037 | 芯源微 | 67,141.00 | 11,250,145.96 | 9.43 |
| 3 | 300567 | 精测电子 | 89,000.00 | 11,187,300.00 | 9.38 |
| 4 | 688627 | 精智达 | 48,659.00 | 11,082,087.25 | 9.29 |
| 5 | 688012 | 中微公司 | 28,206.00 | 8,641,754.28 | 7.25 |
| 6 | 688361 | 中科飞测 | 55,106.00 | 8,378,867.30 | 7.03 |
| 7 | 688630 | 芯碁微装 | 39,806.00 | 7,698,480.40 | 6.46 |
| 8 | 688147 | 微导纳米 | 116,606.00 | 7,468,614.30 | 6.26 |
| 9 | 603061 | 金海通 | 26,300.00 | 7,109,679.00 | 5.96 |
| 10 | 688200 | 华峰测控 | 26,280.00 | 6,906,384.00 | 5.79 |
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