| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 国泰上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 330,052,935 | 78.07 |
| 2 | 招商证券股份有限公司 | 3,071,512 | 0.73 |
| 3 | 华泰证券股份有限公司 | 2,459,969 | 0.58 |
| 4 | 申万宏源证券有限公司 | 2,187,500 | 0.52 |
| 5 | 广发证券股份有限公司 | 2,131,095 | 0.50 |
| 6 | 中国国际金融股份有限公司 | 1,923,700 | 0.46 |
| 7 | 中信证券股份有限公司 | 1,645,820 | 0.39 |
| 8 | 兴业证券股份有限公司 | 1,310,900 | 0.31 |
| 9 | 兴业证券股份有限公司 | 1,310,900 | 0.31 |
| 10 | 张震 | 1,300,000 | 0.31 |
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