| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688037 | 芯源微 | 13,029.00 | 1,941,321.00 | 9.65 |
| 2 | 688361 | 中科飞测 | 16,459.00 | 1,909,737.77 | 9.49 |
| 3 | 688082 | 盛美上海 | 9,454.00 | 1,907,817.20 | 9.48 |
| 4 | 688072 | 拓荆科技 | 7,210.00 | 1,875,897.80 | 9.32 |
| 5 | 688012 | 中微公司 | 6,138.00 | 1,835,200.62 | 9.12 |
| 6 | 002371 | 北方华创 | 4,000.00 | 1,809,440.00 | 8.99 |
| 7 | 688596 | 正帆科技 | 37,268.00 | 1,616,313.16 | 8.03 |
| 8 | 688200 | 华峰测控 | 6,452.00 | 1,343,951.60 | 6.68 |
| 9 | 688120 | 华海清科 | 7,631.00 | 1,260,641.20 | 6.27 |
| 10 | 688627 | 精智达 | 5,193.00 | 939,933.00 | 4.67 |
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