| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688498 | 源杰科技 | 17,000.00 | 32,062,000.00 | 1.80 |
| 2 | 001309 | 德明利 | 21,900.00 | 20,649,510.00 | 1.16 |
| 3 | 300604 | 长川科技 | 58,600.00 | 20,007,212.00 | 1.12 |
| 4 | 688347 | 华虹宏力 | 59,209.00 | 19,911,986.70 | 1.12 |
| 5 | 300223 | 北京君正 | 74,900.00 | 18,642,610.00 | 1.05 |
| 6 | 002008 | 大族激光 | 114,300.00 | 17,157,573.00 | 0.96 |
| 7 | 300857 | 协创数据 | 49,500.00 | 16,825,050.00 | 0.95 |
| 8 | 688361 | 中科飞测 | 35,426.00 | 15,233,180.00 | 0.86 |
| 9 | 000021 | 深科技 | 236,500.00 | 15,199,855.00 | 0.85 |
| 10 | 002281 | 光迅科技 | 58,400.00 | 15,005,296.00 | 0.84 |