| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 894.00 | 418,839.00 | 9.62 |
| 2 | 603986 | 兆易创新 | 400.00 | 326,000.00 | 7.49 |
| 3 | 688372 | 伟测科技 | 1,704.00 | 316,944.00 | 7.28 |
| 4 | 688200 | 华峰测控 | 592.00 | 310,859.20 | 7.14 |
| 5 | 002851 | 麦格米特 | 1,800.00 | 300,924.00 | 6.91 |
| 6 | 688220 | 翱捷科技 | 2,133.00 | 265,174.56 | 6.09 |
| 7 | 688409 | 富创精密 | 823.00 | 252,043.75 | 5.79 |
| 8 | 688820 | 盛合晶微 | 1,160.00 | 224,587.60 | 5.16 |
| 9 | 688037 | 芯源微 | 458.00 | 201,084.90 | 4.62 |
| 10 | 688785 | 恒运昌 | 400.00 | 193,612.00 | 4.45 |