| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 119,343.00 | 55,912,195.50 | 6.90 |
| 2 | 688233 | 神工股份 | 257,401.00 | 55,191,922.42 | 6.81 |
| 3 | 688409 | 富创精密 | 145,477.00 | 44,552,331.25 | 5.49 |
| 4 | 688361 | 中科飞测 | 102,631.00 | 44,131,330.00 | 5.44 |
| 5 | 688200 | 华峰测控 | 77,006.00 | 40,435,850.60 | 4.99 |
| 6 | 300604 | 长川科技 | 106,500.00 | 36,361,230.00 | 4.48 |
| 7 | 688037 | 芯源微 | 82,722.00 | 36,319,094.10 | 4.48 |
| 8 | 688082 | 盛美上海 | 80,143.00 | 34,621,776.00 | 4.27 |
| 9 | 688120 | 华海清科 | 100,021.00 | 32,224,765.78 | 3.97 |
| 10 | 300666 | 江丰电子 | 86,400.00 | 31,847,040.00 | 3.93 |
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