| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 15,100.00 | 13,356,856.00 | 5.25 |
| 2 | 01347 | 华虹宏力 | 69,000.00 | 12,896,925.24 | 5.07 |
| 3 | 00981 | 中芯国际 | 166,000.00 | 12,889,629.42 | 5.06 |
| 4 | 688361 | 中科飞测 | 28,495.00 | 12,252,850.00 | 4.81 |
| 5 | 688521 | 芯原股份 | 26,977.00 | 10,012,243.78 | 3.93 |
| 6 | 688041 | 海光信息 | 26,662.00 | 9,872,938.60 | 3.88 |
| 7 | 002436 | 兴森科技 | 183,000.00 | 9,323,850.00 | 3.66 |
| 8 | 688234 | 天岳先进 | 53,091.00 | 9,211,819.41 | 3.62 |
| 9 | 002179 | 中航光电 | 180,400.00 | 8,334,480.00 | 3.27 |
| 10 | 301021 | 英诺激光 | 65,200.00 | 7,947,880.00 | 3.12 |