| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 70,000.00 | 32,795,000.00 | 0.39 |
| 2 | 688361 | 中科飞测 | 25,000.00 | 10,750,000.00 | 0.13 |
| 3 | 688120 | 华海清科 | 29,944.00 | 9,647,357.92 | 0.11 |
| 4 | 688200 | 华峰测控 | 15,000.00 | 7,876,500.00 | 0.09 |
| 5 | 688037 | 芯源微 | 15,000.00 | 6,585,750.00 | 0.08 |
| 6 | 688082 | 盛美上海 | 15,000.00 | 6,480,000.00 | 0.08 |
| 7 | 688126 | 沪硅产业 | 154,905.00 | 6,179,160.45 | 0.07 |
| 8 | 688146 | 中船特气 | 15,000.00 | 5,249,850.00 | 0.06 |
| 9 | 688019 | 安集科技 | 15,000.00 | 5,091,900.00 | 0.06 |
| 10 | 688409 | 富创精密 | 15,000.00 | 4,593,750.00 | 0.05 |
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