| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688409 | 富创精密 | 68,819.00 | 21,075,818.75 | 2.48 |
| 2 | 603986 | 兆易创新 | 24,600.00 | 20,049,000.00 | 2.36 |
| 3 | 300260 | 新莱应材 | 191,700.00 | 19,258,182.00 | 2.27 |
| 4 | 603005 | 晶方科技 | 332,180.00 | 17,894,536.60 | 2.11 |
| 5 | 688361 | 中科飞测 | 31,521.00 | 13,554,030.00 | 1.60 |
| 6 | 002371 | 北方华创 | 11,100.00 | 9,818,616.00 | 1.16 |
| 7 | 300975 | 商络电子 | 189,200.00 | 9,791,100.00 | 1.15 |
| 8 | 605358 | 立昂微 | 119,100.00 | 9,242,160.00 | 1.09 |
| 9 | 300308 | 中际旭创 | 6,600.00 | 8,382,000.00 | 0.99 |