| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688347 | 华虹公司 | 36,103.00 | 3,894,430.61 | 3.19 |
| 2 | 688110 | 东芯股份 | 27,411.00 | 3,600,434.85 | 2.95 |
| 3 | 688498 | 源杰科技 | 5,439.00 | 3,491,783.61 | 2.86 |
| 4 | 688002 | 睿创微纳 | 32,601.00 | 3,286,180.80 | 2.69 |
| 5 | 688361 | 中科飞测 | 18,772.00 | 2,871,928.28 | 2.35 |
| 6 | 688027 | 国盾量子 | 5,579.00 | 2,810,644.41 | 2.30 |
| 7 | 688235 | 百济神州 | 10,188.00 | 2,736,496.80 | 2.24 |
| 8 | 688313 | 仕佳光子 | 28,437.00 | 2,524,636.86 | 2.07 |
| 9 | 688385 | 复旦微电 | 33,289.00 | 2,453,399.30 | 2.01 |
| 10 | 688019 | 安集科技 | 10,447.00 | 2,276,610.24 | 1.86 |