| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 7,800.00 | 6,899,568.00 | 8.19 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 14,608.00 | 6,843,848.00 | 8.12 |
| 3 | 688082 | 盛美上海 | 14,767.00 | 6,379,344.00 | 7.57 |
| 4 | 688072 | 拓荆科技 | 6,180.00 | 5,435,495.40 | 6.45 |
| 5 | 300604 | 长川科技 | 15,200.00 | 5,189,584.00 | 6.16 |
| 6 | 688120 | 华海清科 | 15,391.00 | 4,958,672.38 | 5.88 |
| 7 | 688361 | 中科飞测 | 10,944.00 | 4,705,920.00 | 5.58 |
| 8 | 688200 | 华峰测控 | 6,185.00 | 3,247,743.50 | 3.85 |
| 9 | 688037 | 芯源微 | 6,260.00 | 2,748,453.00 | 3.26 |
| 10 | 688147 | 微导纳米 | 14,400.00 | 2,331,072.00 | 2.77 |
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