| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688082 | 盛美上海 | 6,767.00 | 1,365,580.60 | 6.47 |
| 2 | 688120 | 华海清科 | 7,900.00 | 1,305,080.00 | 6.18 |
| 3 | 688072 | 拓荆科技 | 5,000.00 | 1,300,900.00 | 6.16 |
| 4 | 688012 | 中微公司 | 4,300.00 | 1,285,657.00 | 6.09 |
| 5 | 002371 | 北方华创 | 2,700.00 | 1,221,372.00 | 5.79 |
| 6 | 300604 | 长川科技 | 12,100.00 | 1,205,402.00 | 5.71 |
| 7 | 688037 | 芯源微 | 5,000.00 | 745,000.00 | 3.53 |
| 8 | 688361 | 中科飞测 | 6,200.00 | 719,386.00 | 3.41 |
| 9 | 688200 | 华峰测控 | 3,400.00 | 708,220.00 | 3.36 |
| 10 | 300567 | 精测电子 | 5,000.00 | 392,600.00 | 1.86 |
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