| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688082 | 盛美上海 | 10,967.00 | 1,930,740.35 | 9.46 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 4,200.00 | 1,928,136.00 | 9.45 |
| 3 | 688072 | 拓荆科技 | 5,600.00 | 1,848,000.00 | 9.06 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 10,322.00 | 1,549,125.76 | 7.59 |
| 5 | 688012 | 中微公司 | 5,400.00 | 1,532,250.00 | 7.51 |
| 6 | 300604 | 长川科技 | 14,300.00 | 1,448,733.00 | 7.10 |
| 7 | 688361 | 中科飞测 | 7,300.00 | 1,116,827.00 | 5.47 |
| 8 | 688037 | 芯源微 | 5,860.00 | 870,268.60 | 4.26 |
| 9 | 688147 | 微导纳米 | 13,500.00 | 847,665.00 | 4.15 |
| 10 | 688200 | 华峰测控 | 3,995.00 | 759,849.00 | 3.72 |
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