| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688041 | 海光信息 | 20,617.00 | 7,634,475.10 | 9.06 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 14,148.00 | 6,628,338.00 | 7.87 |
| 3 | 688981 | 中芯国际 | 33,778.00 | 5,364,621.96 | 6.37 |
| 4 | 688256 | 寒武纪 | 3,163.00 | 5,046,724.65 | 5.99 |
| 5 | 688037 | 芯源微 | 10,536.00 | 4,625,830.80 | 5.49 |
| 6 | 688120 | 华海清科 | 11,756.00 | 3,787,548.08 | 4.49 |
| 7 | 688008 | 澜起科技 | 10,902.00 | 3,378,529.80 | 4.01 |
| 8 | 688072 | 拓荆科技 | 2,533.00 | 2,227,849.49 | 2.64 |
| 9 | 688200 | 华峰测控 | 4,000.00 | 2,100,400.00 | 2.49 |
| 10 | 688082 | 盛美上海 | 2,185.00 | 943,920.00 | 1.12 |