| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688072 | 拓荆科技 | 6,088.00 | 2,009,040.00 | 0.26 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 6,814.00 | 1,933,472.50 | 0.25 |
| 3 | 688120 | 华海清科 | 12,808.00 | 1,922,224.64 | 0.25 |
| 4 | 688126 | 沪硅产业 | 86,828.00 | 1,878,957.92 | 0.24 |
| 5 | 688361 | 中科飞测 | 10,870.00 | 1,663,001.30 | 0.21 |
| 6 | 688019 | 安集科技 | 6,104.00 | 1,330,183.68 | 0.17 |
| 7 | 688037 | 芯源微 | 8,345.00 | 1,239,315.95 | 0.16 |
| 8 | 688234 | 天岳先进 | 11,116.00 | 987,990.08 | 0.13 |
| 9 | 688200 | 华峰测控 | 4,908.00 | 933,501.60 | 0.12 |
| 10 | 688082 | 盛美上海 | 4,966.00 | 874,264.30 | 0.11 |
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