| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 300567 | 精测电子 | 61,100.00 | 5,572,320.00 | 9.42 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 16,672.00 | 5,501,760.00 | 9.30 |
| 3 | 688361 | 中科飞测 | 35,084.00 | 5,367,501.16 | 9.07 |
| 4 | 688037 | 芯源微 | 35,322.00 | 5,245,670.22 | 8.87 |
| 5 | 688627 | 精智达 | 23,383.00 | 5,228,204.97 | 8.84 |
| 6 | 002371 | 北方华创 | 10,500.00 | 4,820,340.00 | 8.15 |
| 7 | 300604 | 长川科技 | 44,400.00 | 4,498,164.00 | 7.60 |
| 8 | 688652 | 京仪装备 | 45,139.00 | 4,437,615.09 | 7.50 |
| 9 | 688147 | 微导纳米 | 70,072.00 | 4,399,820.88 | 7.44 |
| 10 | 688502 | 茂莱光学 | 7,313.00 | 2,918,252.65 | 4.93 |
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