| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688361 | 中科飞测 | 20,668.00 | 7,214,992.12 | 9.86 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 10,746.00 | 6,877,440.00 | 9.40 |
| 3 | 688200 | 华峰测控 | 17,734.00 | 6,632,516.00 | 9.06 |
| 4 | 688012 | 中微公司 | 20,692.00 | 6,591,436.60 | 9.01 |
| 5 | 688409 | 富创精密 | 37,266.00 | 6,338,946.60 | 8.66 |
| 6 | 688347 | 华虹宏力 | 30,180.00 | 6,275,025.60 | 8.58 |
| 7 | 688120 | 华海清科 | 24,933.00 | 5,670,512.19 | 7.75 |
| 8 | 688037 | 芯源微 | 16,525.00 | 5,408,136.75 | 7.39 |
| 9 | 002371 | 北方华创 | 7,800.00 | 4,804,566.00 | 6.57 |
| 10 | 688498 | 源杰科技 | 2,902.00 | 4,680,926.00 | 6.40 |
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