| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 15,641.00 | 4,792,089.58 | 9.77 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 12,888.00 | 4,768,560.00 | 9.72 |
| 3 | 002371 | 北方华创 | 10,100.00 | 4,514,700.00 | 9.20 |
| 4 | 688361 | 中科飞测 | 28,528.00 | 4,337,682.40 | 8.84 |
| 5 | 688347 | 华虹公司 | 34,305.00 | 3,632,899.50 | 7.41 |
| 6 | 688120 | 华海清科 | 18,064.00 | 3,143,136.00 | 6.41 |
| 7 | 688019 | 安集科技 | 10,083.00 | 2,527,606.44 | 5.15 |
| 8 | 688409 | 富创精密 | 19,317.00 | 1,740,461.70 | 3.55 |
| 9 | 688200 | 华峰测控 | 6,236.00 | 1,638,820.80 | 3.34 |
| 10 | 688766 | 普冉股份 | 7,006.00 | 1,577,681.14 | 3.22 |
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