| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688361 | 中科飞测 | 27,445.00 | 11,801,350.00 | 10.69 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 22,515.00 | 10,548,277.50 | 9.55 |
| 3 | 688120 | 华海清科 | 31,147.00 | 10,034,940.46 | 9.09 |
| 4 | 688072 | 拓荆科技 | 11,118.00 | 9,778,614.54 | 8.86 |
| 5 | 688256 | 寒武纪 | 6,058.00 | 9,665,841.90 | 8.75 |
| 6 | 688347 | 华虹宏力 | 28,636.00 | 9,630,286.80 | 8.72 |
| 7 | 002371 | 北方华创 | 8,400.00 | 7,430,304.00 | 6.73 |
| 8 | 688498 | 源杰科技 | 3,570.00 | 6,733,020.00 | 6.10 |
| 9 | 688409 | 富创精密 | 20,622.00 | 6,315,487.50 | 5.72 |
| 10 | 688200 | 华峰测控 | 10,178.00 | 5,344,467.80 | 4.84 |
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