| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 98,299.00 | 43,939,653.00 | 8.35 |
| 2 | 688002 | 睿创微纳 | 331,528.00 | 33,550,633.60 | 6.38 |
| 3 | 688120 | 华海清科 | 161,709.00 | 28,137,366.00 | 5.35 |
| 4 | 688037 | 芯源微 | 153,519.00 | 25,723,643.64 | 4.89 |
| 5 | 688361 | 中科飞测 | 160,535.00 | 24,409,346.75 | 4.64 |
| 6 | 002463 | 沪电股份 | 314,700.00 | 23,907,759.00 | 4.55 |
| 7 | 688041 | 海光信息 | 108,591.00 | 22,832,343.66 | 4.34 |
| 8 | 688766 | 普冉股份 | 96,223.00 | 21,668,457.37 | 4.12 |
| 9 | 603986 | 兆易创新 | 90,996.00 | 21,666,147.60 | 4.12 |
| 10 | 688256 | 寒武纪 | 20,246.00 | 19,901,818.00 | 3.78 |
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