| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 中国建设银行股份有限公司-万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 107,606,500 | 35.11 |
| 2 | 赵宇飞 | 10,373,500 | 3.38 |
| 3 | 何志明 | 8,140,100 | 2.66 |
| 4 | 大连银行股份有限公司-大连银行鲲鹏理财悦享封闭净值型理财产品 | 8,000,000 | 2.61 |
| 5 | 国元证券股份有限公司 | 7,639,000 | 2.49 |
| 6 | UBS AG | 4,528,703 | 1.48 |
| 7 | 上海奥索灏纳资产管理有限公司-奥索新动力精选1期私募证券投资基金 | 2,686,200 | 0.88 |
| 8 | 申万宏源证券有限公司 | 2,668,100 | 0.87 |
| 9 | 国泰海通证券股份有限公司 | 2,487,250 | 0.81 |
| 10 | 华泰证券股份有限公司 | 2,180,822 | 0.71 |
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