| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 招商中证机器人ETF发起联接 | 1,522,727,900 | 65.87 |
| 2 | 漳州市国有资产投资经营有限公司 | 16,000,000 | 0.69 |
| 3 | 姚超然 | 8,100,000 | 0.35 |
| 4 | 刘祥杰 | 6,015,600 | 0.26 |
| 5 | 招商证券股份有限公司 | 4,471,600 | 0.19 |
| 6 | 方正证券股份有限公司 | 3,807,000 | 0.16 |
| 7 | 方正证券股份有限公司 | 3,807,000 | 0.16 |
| 8 | 方正证券股份有限公司 | 3,807,000 | 0.16 |
| 9 | 吴秀琪 | 3,661,800 | 0.16 |
| 10 | 吴秀琪 | 3,661,800 | 0.16 |