| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 477,077,441 | 19.50 |
| 2 | 中国人寿保险股份有限公司 | 434,912,900 | 17.77 |
| 3 | 中国平安财产保险股份有限公司-传统-普通保险产品 | 205,653,900 | 8.40 |
| 4 | 华泰证券资管-工商银行-华泰鹏泰11号集合资产管理计划 | 40,991,800 | 1.68 |
| 5 | 方正证券股份有限公司 | 29,546,870 | 1.21 |
| 6 | 李海波 | 17,865,500 | 0.73 |
| 7 | 国泰海通证券股份有限公司 | 17,704,127 | 0.72 |
| 8 | 兴业证券股份有限公司 | 12,698,900 | 0.52 |
| 9 | 北京农村商业银行股份有限公司-金凤凰理财 | 12,222,500 | 0.50 |
| 10 | 中国国际金融股份有限公司 | 10,916,688 | 0.45 |
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