| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 45,311,300 | 7.95 |
| 2 | 中泰证券股份有限公司 | 14,909,800 | 2.61 |
| 3 | 柳朝阳 | 9,000,000 | 1.58 |
| 4 | 泰康资产丰选FOF4号股票型养老金产品-中国工商银行股份有限公司 | 8,904,500 | 1.56 |
| 5 | 董超平 | 7,433,600 | 1.30 |
| 6 | 中国国际金融股份有限公司 | 7,239,100 | 1.27 |
| 7 | 泰康人寿保险有限责任公司-分红-个人分红-019L-FH002沪 | 6,881,600 | 1.21 |
| 8 | 北京人寿保险股份有限公司-传统险 | 6,658,300 | 1.17 |
| 9 | 上海麦迪生利私募基金管理有限公司-麦迪生利银翼11号私募证券投资基金 | 5,946,300 | 1.04 |
| 10 | 方正证券股份有限公司 | 5,381,800 | 0.94 |
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