| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 301421 | 波长光电 | 193,568.00 | 25,154,161.60 | 8.61 |
| 2 | 688502 | 茂莱光学 | 54,758.00 | 24,038,762.00 | 8.22 |
| 3 | 002222 | 福晶科技 | 471,430.00 | 23,430,071.00 | 8.02 |
| 4 | 688652 | 京仪装备 | 231,654.00 | 23,355,356.28 | 7.99 |
| 5 | 301392 | 汇成真空 | 134,803.00 | 23,338,443.39 | 7.99 |
| 6 | 688012 | 中微公司 | 75,532.00 | 22,583,312.68 | 7.73 |
| 7 | 688361 | 中科飞测 | 185,535.00 | 21,527,626.05 | 7.37 |
| 8 | 688372 | 伟测科技 | 177,965.00 | 15,862,020.45 | 5.43 |
| 9 | 688120 | 华海清科 | 84,585.00 | 13,973,442.00 | 4.78 |
| 10 | 688037 | 芯源微 | 92,849.00 | 13,834,501.00 | 4.73 |
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