| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 33,885.00 | 10,381,686.30 | 0.60 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 20,275.00 | 9,062,925.00 | 0.52 |
| 3 | 688072 | 拓荆科技 | 13,947.00 | 5,160,390.00 | 0.30 |
| 4 | 300604 | 长川科技 | 36,700.00 | 4,442,535.00 | 0.26 |
| 5 | 688120 | 华海清科 | 20,448.00 | 3,557,952.00 | 0.21 |
| 6 | 688126 | 沪硅产业 | 158,227.00 | 2,674,036.30 | 0.15 |
| 7 | 688361 | 中科飞测 | 17,375.00 | 2,641,868.75 | 0.15 |
| 8 | 300346 | 南大光电 | 57,100.00 | 2,577,494.00 | 0.15 |
| 9 | 688019 | 安集科技 | 9,771.00 | 2,449,394.28 | 0.14 |
| 10 | 300666 | 江丰电子 | 17,500.00 | 2,436,350.00 | 0.14 |
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