| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688347 | 华虹宏力 | 14,612.00 | 4,914,015.60 | 5.06 |
| 2 | 688200 | 华峰测控 | 7,086.00 | 3,720,858.60 | 3.83 |
| 3 | 688630 | 芯碁微装 | 5,614.00 | 3,084,275.46 | 3.17 |
| 4 | 688146 | 中船特气 | 7,766.00 | 2,718,022.34 | 2.80 |
| 5 | 688019 | 安集科技 | 7,938.00 | 2,694,633.48 | 2.77 |
| 6 | 688766 | 普冉股份 | 3,368.00 | 2,581,908.80 | 2.66 |
| 7 | 688017 | 绿的谐波 | 6,121.00 | 2,557,721.06 | 2.63 |
| 8 | 688002 | 睿创微纳 | 15,767.00 | 2,438,997.23 | 2.51 |
| 9 | 688037 | 芯源微 | 5,463.00 | 2,398,530.15 | 2.47 |
| 10 | 688409 | 富创精密 | 7,681.00 | 2,352,306.25 | 2.42 |
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