| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688072 | 拓荆科技 | 75,958.00 | 66,807,339.74 | 8.60 |
| 2 | 688347 | 华虹宏力 | 196,557.00 | 66,102,119.10 | 8.51 |
| 3 | 688012 | 中微公司 | 135,999.00 | 63,715,531.50 | 8.20 |
| 4 | 688981 | 中芯国际 | 332,640.00 | 52,829,884.80 | 6.80 |
| 5 | 688037 | 芯源微 | 105,966.00 | 46,524,372.30 | 5.99 |
| 6 | 688120 | 华海清科 | 137,957.00 | 44,446,986.26 | 5.72 |
| 7 | 688041 | 海光信息 | 109,479.00 | 40,540,073.70 | 5.22 |
| 8 | 002371 | 北方华创 | 43,335.00 | 38,332,407.60 | 4.93 |
| 9 | 603986 | 兆易创新 | 46,000.00 | 37,490,000.00 | 4.83 |
| 10 | 688256 | 寒武纪 | 21,681.00 | 34,593,119.55 | 4.45 |
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