| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688361 | 中科飞测 | 83,433.00 | 35,876,190.00 | 7.36 |
| 2 | 300567 | 精测电子 | 97,423.00 | 30,941,544.80 | 6.35 |
| 3 | 688120 | 华海清科 | 91,539.00 | 29,492,035.02 | 6.05 |
| 4 | 688627 | 精智达 | 40,733.00 | 29,124,095.00 | 5.98 |
| 5 | 688661 | 和林微纳 | 157,118.00 | 24,978,619.64 | 5.13 |
| 6 | 603061 | 金海通 | 49,270.00 | 24,744,379.40 | 5.08 |
| 7 | 688256 | 寒武纪 | 15,333.00 | 24,464,568.15 | 5.02 |
| 8 | 00981 | 中芯国际 | 240,000.00 | 18,635,608.80 | 3.82 |
| 9 | 688018 | 乐鑫科技 | 129,062.00 | 16,509,611.04 | 3.39 |
| 10 | 688380 | 中微半导 | 240,989.00 | 15,883,584.99 | 3.26 |
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