| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 300308 | 中际旭创 | 2,300.00 | 2,921,000.00 | 0.33 |
| 2 | 688249 | 晶合集成 | 34,637.00 | 2,044,622.11 | 0.23 |
| 3 | 688256 | 寒武纪 | 1,047.00 | 1,670,540.85 | 0.19 |
| 4 | 688498 | 源杰科技 | 771.00 | 1,454,106.00 | 0.16 |
| 5 | 688409 | 富创精密 | 4,588.00 | 1,405,075.00 | 0.16 |
| 6 | 300661 | 圣邦股份 | 8,200.00 | 1,176,536.00 | 0.13 |
| 7 | 603259 | 药明康德 | 9,200.00 | 1,145,492.00 | 0.13 |
| 8 | 688981 | 中芯国际 | 6,829.00 | 1,084,581.78 | 0.12 |
| 9 | 300776 | 帝尔激光 | 5,000.00 | 1,074,800.00 | 0.12 |
| 10 | 300502 | 新易盛 | 1,760.00 | 1,068,320.00 | 0.12 |