| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688361 | 中科飞测 | 53,326.00 | 22,930,180.00 | 0.99 |
| 2 | 688548 | 广钢气体 | 331,468.00 | 17,269,482.80 | 0.75 |
| 3 | 688012 | 中微公司 | 36,645.00 | 17,168,182.50 | 0.74 |
| 4 | 603986 | 兆易创新 | 14,600.00 | 11,899,000.00 | 0.52 |
| 5 | 300054 | 鼎龙股份 | 92,500.00 | 9,802,225.00 | 0.43 |
| 6 | 002371 | 北方华创 | 11,000.00 | 9,730,160.00 | 0.42 |
| 7 | 688072 | 拓荆科技 | 10,438.00 | 9,180,534.14 | 0.40 |
| 8 | 688041 | 海光信息 | 24,470.00 | 9,061,241.00 | 0.39 |
| 9 | 688368 | 晶丰明源 | 41,222.00 | 8,925,387.44 | 0.39 |
| 10 | 600549 | 厦门钨业 | 104,500.00 | 8,903,400.00 | 0.39 |