| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 74,678.00 | 22,327,975.22 | 2.75 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 31,762.00 | 14,367,858.32 | 1.77 |
| 3 | 688126 | 沪硅产业 | 296,529.00 | 7,650,448.20 | 0.94 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 41,712.00 | 6,890,822.40 | 0.85 |
| 5 | 688072 | 拓荆科技 | 25,200.00 | 6,556,536.00 | 0.81 |
| 6 | 300604 | 长川科技 | 63,500.00 | 6,325,870.00 | 0.78 |
| 7 | 688019 | 安集科技 | 25,200.00 | 5,756,688.00 | 0.71 |
| 8 | 688037 | 芯源微 | 33,600.00 | 5,006,400.00 | 0.62 |
| 9 | 688361 | 中科飞测 | 41,711.00 | 4,839,727.33 | 0.60 |
| 10 | 300346 | 南大光电 | 93,700.00 | 4,068,454.00 | 0.50 |
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