| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688200 | 华峰测控 | 9,327.00 | 4,897,607.70 | 3.50 |
| 2 | 688037 | 芯源微 | 10,691.00 | 4,693,883.55 | 3.36 |
| 3 | 688766 | 普冉股份 | 5,856.00 | 4,489,209.60 | 3.21 |
| 4 | 688146 | 中船特气 | 11,131.00 | 3,895,738.69 | 2.79 |
| 5 | 688002 | 睿创微纳 | 24,866.00 | 3,846,521.54 | 2.75 |
| 6 | 688313 | 仕佳光子 | 20,734.00 | 3,828,533.10 | 2.74 |
| 7 | 688017 | 绿的谐波 | 9,012.00 | 3,765,754.32 | 2.69 |
| 8 | 688627 | 精智达 | 4,978.00 | 3,559,270.00 | 2.55 |
| 9 | 688630 | 芯碁微装 | 6,424.00 | 3,529,281.36 | 2.52 |
| 10 | 688019 | 安集科技 | 10,214.00 | 3,467,244.44 | 2.48 |
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