| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 68,130.00 | 20,873,669.40 | 14.89 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 41,695.00 | 18,637,665.00 | 13.30 |
| 3 | 688072 | 拓荆科技 | 26,630.00 | 9,853,100.00 | 7.03 |
| 4 | 688256 | 寒武纪 | 9,550.00 | 9,387,650.00 | 6.70 |
| 5 | 688041 | 海光信息 | 40,837.00 | 8,586,387.62 | 6.13 |
| 6 | 300604 | 长川科技 | 69,500.00 | 8,412,975.00 | 6.00 |
| 7 | 688981 | 中芯国际 | 84,712.00 | 7,967,163.60 | 5.68 |
| 8 | 688120 | 华海清科 | 37,260.00 | 6,483,240.00 | 4.63 |
| 9 | 688361 | 中科飞测 | 33,517.00 | 5,096,259.85 | 3.64 |
| 10 | 300346 | 南大光电 | 105,300.00 | 4,753,242.00 | 3.39 |
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