| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 148,318.00 | 47,246,698.90 | 14.09 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 74,195.00 | 45,701,894.15 | 13.63 |
| 3 | 688256 | 寒武纪 | 30,449.00 | 30,723,345.49 | 9.16 |
| 4 | 688072 | 拓荆科技 | 40,026.00 | 25,616,640.00 | 7.64 |
| 5 | 300604 | 长川科技 | 86,700.00 | 20,789,793.00 | 6.20 |
| 6 | 688041 | 海光信息 | 87,724.00 | 19,895,803.20 | 5.93 |
| 7 | 688120 | 华海清科 | 78,752.00 | 17,910,567.36 | 5.34 |
| 8 | 688361 | 中科飞测 | 49,329.00 | 17,220,260.61 | 5.14 |
| 9 | 688981 | 中芯国际 | 94,845.00 | 10,621,691.55 | 3.17 |
| 10 | 688200 | 华峰测控 | 26,685.00 | 9,980,190.00 | 2.98 |
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