| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 42,000.00 | 19,677,000.00 | 0.32 |
| 2 | 688120 | 华海清科 | 22,400.00 | 7,216,832.00 | 0.12 |
| 3 | 688072 | 拓荆科技 | 8,000.00 | 7,036,240.00 | 0.11 |
| 4 | 688361 | 中科飞测 | 14,000.00 | 6,020,000.00 | 0.10 |
| 5 | 688200 | 华峰测控 | 8,400.00 | 4,410,840.00 | 0.07 |
| 6 | 688019 | 安集科技 | 11,200.00 | 3,801,952.00 | 0.06 |
| 7 | 688037 | 芯源微 | 8,400.00 | 3,688,020.00 | 0.06 |
| 8 | 688082 | 盛美上海 | 8,400.00 | 3,628,800.00 | 0.06 |
| 9 | 688126 | 沪硅产业 | 89,600.00 | 3,574,144.00 | 0.06 |
| 10 | 688409 | 富创精密 | 11,200.00 | 3,430,000.00 | 0.06 |
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