| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688498 | 源杰科技 | 11,614.00 | 21,904,004.00 | 5.67 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 19,015.00 | 16,724,262.95 | 4.33 |
| 3 | 688041 | 海光信息 | 44,510.00 | 16,482,053.00 | 4.27 |
| 4 | 688313 | 仕佳光子 | 55,300.00 | 10,211,145.00 | 2.64 |
| 5 | 688183 | 生益电子 | 67,537.00 | 8,941,898.80 | 2.31 |
| 6 | 688012 | 中微公司 | 17,084.00 | 8,003,854.00 | 2.07 |
| 7 | 688981 | 中芯国际 | 45,146.00 | 7,170,087.72 | 1.86 |
| 8 | 688008 | 澜起科技 | 23,004.00 | 7,128,939.60 | 1.85 |
| 9 | 688629 | 华丰科技 | 35,838.00 | 6,719,983.38 | 1.74 |
| 10 | 688322 | 奥比中光 | 47,651.00 | 6,220,838.05 | 1.61 |