| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688041 | 海光信息 | 64,405.00 | 14,607,054.00 | 5.05 |
| 2 | 688981 | 中芯国际 | 78,858.00 | 8,831,307.42 | 3.05 |
| 3 | 688012 | 中微公司 | 26,484.00 | 8,436,478.20 | 2.92 |
| 4 | 688008 | 澜起科技 | 34,804.00 | 7,041,197.24 | 2.43 |
| 5 | 688498 | 源杰科技 | 3,470.00 | 5,597,110.00 | 1.93 |
| 6 | 688808 | 联讯仪器 | 3,088.00 | 4,769,688.16 | 1.65 |
| 7 | 688347 | 华虹宏力 | 21,176.00 | 4,402,913.92 | 1.52 |
| 8 | 688820 | 盛合晶微 | 35,914.00 | 4,156,682.04 | 1.44 |
| 9 | 688525 | 佰维存储 | 21,069.00 | 4,052,622.15 | 1.40 |
| 10 | 688802 | 沐曦股份 | 7,994.00 | 3,973,657.52 | 1.37 |