| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 光大证券股份有限公司-天弘中证芯片产业交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 483,335,814 | 83.05 |
| 2 | 王桂花 | 11,313,400 | 1.94 |
| 3 | 乐承俊 | 3,932,200 | 0.68 |
| 4 | 中信建投证券股份有限公司 | 2,335,200 | 0.40 |
| 5 | 中信证券股份有限公司 | 2,072,904 | 0.36 |
| 6 | 上海睿量私募基金管理有限公司-睿量质子1号私募证券投资基金 | 1,765,000 | 0.30 |
| 7 | 华泰证券股份有限公司 | 1,609,975 | 0.28 |
| 8 | 刘娜 | 1,519,500 | 0.26 |
| 9 | 刘旭 | 1,280,000 | 0.22 |
| 10 | 路茂周 | 1,000,000 | 0.17 |