| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 国泰中证机器人交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 130,555,546 | 30.72 |
| 2 | 海南佳岳私募证券基金管理有限公司-佳岳升冉宏观配置私募证券投资基金 | 22,021,700 | 5.18 |
| 3 | 招商证券股份有限公司 | 6,526,215 | 1.54 |
| 4 | 建信信托有限责任公司-建信信托-尊享配置权益类8号集合资金信托计划 | 6,231,800 | 1.47 |
| 5 | 金士滔 | 5,275,100 | 1.24 |
| 6 | 李彦红 | 4,837,900 | 1.14 |
| 7 | 建信信托有限责任公司-建信信托-尊享配置权益类5号集合资金信托计划 | 2,427,000 | 0.57 |
| 8 | 方正证券股份有限公司 | 1,981,361 | 0.47 |
| 9 | 中国国际金融股份有限公司 | 1,929,555 | 0.45 |
| 10 | 芜湖弘唯基石投资基金管理合伙企业(有限合伙)-弘唯基石华瑞科技创新1号私募证券投资基金 | 1,861,500 | 0.44 |