| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 富国中证细分机械设备产业主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 30,913,500 | 46.39 |
| 2 | 广发证券股份有限公司 | 4,503,815 | 6.76 |
| 3 | 招商证券股份有限公司 | 3,048,979 | 4.58 |
| 4 | 中信证券股份有限公司 | 2,429,415 | 3.65 |
| 5 | 华泰证券股份有限公司 | 2,291,906 | 3.44 |
| 6 | 孙昱晴 | 1,280,000 | 1.92 |
| 7 | 广发证券资管-招商银行-广发资管兴盛1号FOF集合资产管理计划 | 1,196,500 | 1.80 |
| 8 | 中国国际金融股份有限公司 | 1,063,750 | 1.60 |
| 9 | 东方证券股份有限公司 | 902,800 | 1.35 |
| 10 | 柯瑜 | 600,000 | 0.90 |
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