| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 招商中证半导体产业ETF发起式联接 | 470,369,800 | 37.63 |
| 2 | 中诚信托有限责任公司-中诚信托-嘉信12号集合资金信托计划 | 10,000,000 | 0.80 |
| 3 | 华泰证券资管-工商银行-华泰证券工商银行1号集合资产管理计划 | 9,649,500 | 0.77 |
| 4 | 平安聚睿股票型FOF养老金产品-中国工商银行股份有限公司 | 7,818,300 | 0.63 |
| 5 | BARCLAYSBANKPLC | 7,350,581 | 0.59 |
| 6 | 中国平安人寿保险股份有限公司-寿险传统低-自主 | 7,270,900 | 0.58 |
| 7 | 华润深国投信托有限公司-华润信托·综艺控股成长5号集合资金信托计划 | 6,000,000 | 0.48 |
| 8 | 招商证券股份有限公司 | 5,793,076 | 0.46 |
| 9 | 卞佳 | 5,582,800 | 0.45 |
| 10 | 香港中央结算有限公司 | 5,159,267 | 0.41 |
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