| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 5,400.00 | 1,614,546.00 | 0.37 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 3,000.00 | 1,357,080.00 | 0.31 |
| 3 | 688126 | 沪硅产业 | 21,000.00 | 541,800.00 | 0.12 |
| 4 | 300604 | 长川科技 | 5,400.00 | 537,948.00 | 0.12 |
| 5 | 688120 | 华海清科 | 3,000.00 | 495,600.00 | 0.11 |
| 6 | 688072 | 拓荆科技 | 1,800.00 | 468,324.00 | 0.11 |
| 7 | 300346 | 南大光电 | 8,400.00 | 364,728.00 | 0.08 |
| 8 | 688361 | 中科飞测 | 3,000.00 | 348,090.00 | 0.08 |
| 9 | 688019 | 安集科技 | 1,200.00 | 274,128.00 | 0.06 |
| 10 | 688037 | 芯源微 | 1,800.00 | 268,200.00 | 0.06 |