| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 300308 | 中际旭创 | 74,000.00 | 42,136,340.00 | 4.31 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 87,880.00 | 39,282,360.00 | 4.02 |
| 3 | 603920 | 世运电路 | 790,000.00 | 39,215,600.00 | 4.01 |
| 4 | 688630 | 芯碁微装 | 195,000.00 | 37,713,000.00 | 3.86 |
| 5 | 688372 | 伟测科技 | 290,000.00 | 37,062,000.00 | 3.79 |
| 6 | 300502 | 新易盛 | 79,920.00 | 35,391,772.80 | 3.62 |
| 7 | 688002 | 睿创微纳 | 345,000.00 | 34,914,000.00 | 3.57 |
| 8 | 603061 | 金海通 | 128,000.00 | 34,602,240.00 | 3.54 |
| 9 | 600183 | 生益科技 | 565,000.00 | 30,606,050.00 | 3.13 |
| 10 | 688200 | 华峰测控 | 110,802.00 | 29,118,765.60 | 2.98 |
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