| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688409 | 富创精密 | 2,192.00 | 671,300.00 | 7.65 |
| 2 | 002851 | 麦格米特 | 3,800.00 | 635,284.00 | 7.24 |
| 3 | 688630 | 芯碁微装 | 984.00 | 540,599.76 | 6.16 |
| 4 | 300476 | 胜宏科技 | 1,500.00 | 519,645.00 | 5.92 |
| 5 | 688372 | 伟测科技 | 2,717.00 | 505,362.00 | 5.76 |
| 6 | 688220 | 翱捷科技 | 3,990.00 | 496,036.80 | 5.65 |
| 7 | 688200 | 华峰测控 | 836.00 | 438,983.60 | 5.00 |
| 8 | 688012 | 中微公司 | 894.00 | 418,839.00 | 4.77 |
| 9 | 301528 | 多浦乐 | 5,075.00 | 415,642.50 | 4.73 |
| 10 | 603986 | 兆易创新 | 500.00 | 407,500.00 | 4.64 |