| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 154,876.00 | 49,335,749.80 | 14.21 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 77,415.00 | 47,685,317.55 | 13.73 |
| 3 | 688256 | 寒武纪 | 31,425.00 | 31,708,139.25 | 9.13 |
| 4 | 688072 | 拓荆科技 | 40,878.00 | 26,161,920.00 | 7.53 |
| 5 | 300604 | 长川科技 | 91,700.00 | 21,988,743.00 | 6.33 |
| 6 | 688041 | 海光信息 | 92,843.00 | 21,056,792.40 | 6.06 |
| 7 | 688120 | 华海清科 | 81,712.00 | 18,583,760.16 | 5.35 |
| 8 | 688361 | 中科飞测 | 50,652.00 | 17,682,106.68 | 5.09 |
| 9 | 688981 | 中芯国际 | 101,743.00 | 11,394,198.57 | 3.28 |
| 10 | 688200 | 华峰测控 | 29,020.00 | 10,853,480.00 | 3.13 |