| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688256 | 寒武纪 | 22,724.00 | 22,928,743.24 | 4.43 |
| 2 | 688041 | 海光信息 | 84,464.00 | 19,156,435.20 | 3.70 |
| 3 | 688981 | 中芯国际 | 82,713.00 | 9,263,028.87 | 1.79 |
| 4 | 688498 | 源杰科技 | 4,708.00 | 7,594,004.00 | 1.47 |
| 5 | 688072 | 拓荆科技 | 11,509.00 | 7,365,760.00 | 1.42 |
| 6 | 688012 | 中微公司 | 22,937.00 | 7,306,581.35 | 1.41 |
| 7 | 688082 | 盛美上海 | 21,212.00 | 6,242,267.36 | 1.21 |
| 8 | 688347 | 华虹宏力 | 27,480.00 | 5,713,641.60 | 1.10 |
| 9 | 688361 | 中科飞测 | 16,022.00 | 5,593,119.98 | 1.08 |
| 10 | 688008 | 澜起科技 | 27,384.00 | 5,540,057.04 | 1.07 |