| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688361 | 中科飞测 | 23,126.00 | 3,538,046.74 | 3.55 |
| 2 | 688110 | 东芯股份 | 23,573.00 | 3,096,313.55 | 3.11 |
| 3 | 688072 | 拓荆科技 | 9,330.00 | 3,078,900.00 | 3.09 |
| 4 | 001309 | 德明利 | 13,240.00 | 3,070,223.60 | 3.08 |
| 5 | 688019 | 安集科技 | 13,999.00 | 3,050,662.08 | 3.06 |
| 6 | 688525 | 佰维存储 | 24,516.00 | 2,814,191.64 | 2.83 |
| 7 | 301308 | 江波龙 | 11,400.00 | 2,791,176.00 | 2.80 |
| 8 | 688037 | 芯源微 | 18,464.00 | 2,742,088.64 | 2.75 |
| 9 | 300474 | 景嘉微 | 38,140.00 | 2,741,121.80 | 2.75 |
| 10 | 603893 | 瑞芯微 | 15,000.00 | 2,674,200.00 | 2.69 |