| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688766 | 普冉股份 | 1,506.00 | 1,154,499.60 | 3.96 |
| 2 | 688200 | 华峰测控 | 1,958.00 | 1,028,145.80 | 3.52 |
| 3 | 688037 | 芯源微 | 2,211.00 | 970,739.55 | 3.33 |
| 4 | 688019 | 安集科技 | 2,430.00 | 824,887.80 | 2.83 |
| 5 | 688313 | 仕佳光子 | 4,382.00 | 809,136.30 | 2.77 |
| 6 | 688409 | 富创精密 | 2,638.00 | 807,887.50 | 2.77 |
| 7 | 688002 | 睿创微纳 | 5,126.00 | 792,940.94 | 2.72 |
| 8 | 688146 | 中船特气 | 2,260.00 | 790,977.40 | 2.71 |
| 9 | 688017 | 绿的谐波 | 1,836.00 | 767,190.96 | 2.63 |
| 10 | 688627 | 精智达 | 1,047.00 | 748,605.00 | 2.57 |