| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 中信建投证券股份有限公司-华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 179,434,100 | 36.64 |
| 2 | 中泰证券股份有限公司 | 15,000,000 | 3.06 |
| 3 | 赵宇飞 | 10,567,700 | 2.16 |
| 4 | 中信建投证券股份有限公司 | 10,000,000 | 2.04 |
| 5 | 百年人寿保险股份有限公司-百年传统保险2号 | 10,000,000 | 2.04 |
| 6 | 百年人寿保险股份有限公司-百年传统保险2号 | 10,000,000 | 2.04 |
| 7 | 中信建投证券股份有限公司 | 10,000,000 | 2.04 |
| 8 | 国盛证券股份有限公司 | 9,792,700 | 2.00 |
| 9 | 白宪玲 | 8,400,000 | 1.72 |
| 10 | 方正证券股份有限公司 | 6,801,300 | 1.39 |
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