| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688037 | 芯源微 | 2,800.00 | 1,229,340.00 | 4.88 |
| 2 | 688120 | 华海清科 | 3,600.00 | 1,159,848.00 | 4.60 |
| 3 | 688361 | 中科飞测 | 2,600.00 | 1,118,000.00 | 4.44 |
| 4 | 300567 | 精测电子 | 3,300.00 | 1,048,080.00 | 4.16 |
| 5 | 688012 | 中微公司 | 2,200.00 | 1,030,700.00 | 4.09 |
| 6 | 688981 | 中芯国际 | 6,300.00 | 1,000,566.00 | 3.97 |
| 7 | 688200 | 华峰测控 | 1,900.00 | 997,690.00 | 3.96 |
| 8 | 688702 | 盛科通信 | 2,500.00 | 974,975.00 | 3.87 |
| 9 | 002371 | 北方华创 | 1,100.00 | 973,016.00 | 3.86 |
| 10 | 688072 | 拓荆科技 | 1,100.00 | 967,483.00 | 3.84 |
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